|
绰 0574-86175333
棺 0574-86173356
ֻ 18958212341 18157488832
ַ www.nb-tx.net
ַ бСϹ·
ʯųվ
|
|
|
|
|
ͻеӹĹⷢչ״ |
ߣadmin Դ ڣ2013/4/18 21:26:07 |
1959꣬Richard P Feynman(1965ŵ)ͻе롣1962һѹߴΪ50500mijֱ֡áּӼе1965꣬˹̹ѧƳԵ缫̽룬ɨʹȡóɹ1987ݴѧУƳתֱΪ6012mù;ʾùӹСɶṹ뼯ɵ·СϵͳDZ
ͻеڹܵšҵ硢ߵѧУоĸ߶ӡMITBerkeleyStanford\AT&T15ѧͰʮĩ"С--ѧı"Ĺҽ飬"ѧ(ϵͳ)ĽԣӦһµҪҵľǰ"Ԥ֧Ϊ5000Ԫõ쵼ӣͶʣѺպ졢ϢMEMSΪƼչص㡣Ͷ1Ԫ"ֺ"ҿѧMEMSΪһоƶ͵ӻеϵͳоļƻ1998꿪ʼMITݴѧ8ѧͱʵҴһо뿪100200ӵ1993500Ԫ1994귢ġƻ棬MEMSΪؼĿоƻֻ쵼֧MEMSо;ӦãѽһMEMSԴٽԪ/װõо뿪ҵҪڴλƴӦǺͼٶȱȴйоܶμͻеϵͳо翵ζѧ˹̹ѧݴѧУִѧ˹ǴѧȵĪоȡݴѧִ(BSAC)õʮҹ˾1500Ԫ1115m2оMEMSijʵҡ
ձͨʡ1991꿪ʼһΪ10ꡢ250Ԫʹоƻ̨һ̨ҽơϺһ̨ڹҵԷɻԭ豸Сʵʩάޡüƻѧҵѧѧ絾ѧʿͨоȼʮҵλμӡ
ŷҵҲ̶ϵͳоصͶʣ¹1988꿪ʼӹʮƻĿƼ19901993겦4֧"ϵͳƻ"оϵͳΪͳƼչص㣬¹״LIGAգΪMEMSķչṩµļֶΣѳΪάṹѡա19937000ɵ"ϵͳ뼼"Ŀŷ"ϵͳоNEXUS"Э46ооʿ䴫ͳӱҵС;ܻеҵĻҲͶMEMSĿ1992ͶΪ1000ԪӢҲƶѧƻڻеѧѧг8Ŀо뿪Ϊ˼ǿŷMEMSһЩŷ˾MEMSš
Ŀǰдͻеϵͳо磺ֱΪ5mӿԼһѪߴΪ7mm7mm2mmͱɴ250l/minܿڴųзеĻԼٶȼơݺźŴϵͳΪһ(MIMU)¹LIGAգƳִлԼͱá졢ʪȡԼֹѧѧԺڷɻճ൱1mmǶӰɻĿѧԡĹٶȼưʹ(е)ͼɵ·(źԴŴźŴ·)һڹƬ3mm3mmķΧڡձƵͳɼӹȴ1.5mϸᡣ |
һƪ(еӹ)еӹٶȰٿȨܣ |
һƪеӹսܣ |
|
|
|
|